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STM系列白光干涉儀可用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級別測量，以“面”的形式獲取表面3D形貌通過專用軟件對3D形貌進行處理和分析，最高RMS重復性可達0.002nm。STM-1000搭配大量程高速納米壓電陶瓷器件，最高掃描速度400um/秒，3200Hz加業內原創SST+GAT算法，可瞬間完成最高500萬點云采集。白光干涉原理通過光干涉相位計量任意放大倍率下均可獲得1nm的檢測精度。